本研究以台中科學園區(后里園區)中某半導廠進行揮發性有機污染物(VOCs)及無機酸鹼排放管道檢測，並以大氣擴散模式評估對周圍空氣的影響。
檢測結果顯示，揮發性有機物在沸石濃縮轉輪總排放濃度為151.4 ppb，在蓄熱式焚化爐處理總排放濃度為3975.2 ppb；臭氧生成潛勢方面，OFP值最高均為芳香烴類各占(71.2、47.3 %)，以甲苯各占(39.5、41.5 %)最高。無機酸鹼檢測顯示，以硫酸(H2SO4)排放濃度為最高(193–513 μg/Nm3)，硝酸(HNO3)次之。排放係數以鹽酸(HCl)3.37 10-3為最高，另外管道中氨氣總排放量為3.87 ppm。
大氣擴散模擬結果顯示，VOCs最大著地濃度發生在廠區下風50公尺處，總濃度為22.0 ppb，當擴散至園區外時，濃度降低至10 ppb以下。無機酸中硫酸、硝酸、鹽酸、氫氟酸及磷酸之最大著地濃度，亦在廠區下風50 公尺處，濃度分別為0.94、0.77、0.89、1.05及0.16g/Nm3，故對周遭環境及居民影響甚小。

In this study, emission concentrations of volatile organic pollutants (VOCs) and inorganic acid-basis gases were measured in a semiconductor factory in Houli Central Taiwan Science Park (CTSP). The Gaussian diffusion model was used to evaluate the impact of emitted pollutants on the ambient air.
Measured results show that emission concentration of VOCs from zeolite rotor concentrator tubes was 151.4 ppb; whereas emission concentration of VOCs from regenerative thermal oxidizer was 3975.2 ppb. The aromatic hydrocarbons contributed the highest portion of OFP (ozone formation potential) were 71.2 % 、47.3 % respectively. Respect of species, the toluene were 39.5 %、41.5 % respectively. For inorganic acid, emission concentration of H2SO4 was the highest (193 – 513 g/Nm3), followed by the concentration of HNO3. The HCl emission factor was the highest in the acid gas. Also, the emission concentration of NH3 was 3.87 ppm from the concentrationn tubes.
Simulation results show that the maximum ground-level concentration of VOCs was 22.0 ppb at a 50 m downwind site. When the pollutants dispersed to outside the park, the concentrations were reduced to below 10 ppb. Also, the maximum ground-level concentrations of sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid, hydrofluoric acid and phosphoric acid were 0.94,0.77,0.89,1.05, and 0.16 g/Nm3 respectively, all close to a 50 m downwind site. Thus, the impact of air pollutants to the ambient air was negligible.

誌 謝 i
摘 要 ii
ABSTRACT iii
目 錄 iv
表 目 錄 vii
圖 目 錄 ix

第一章 前言 1
1.1研究源起 1
1.2 研究目的 2

第二章 文獻回顧 3
2.1 園區概況 3
2.2 空氣污染物排放特性 3
2.3 法規標準 10
2.4 控制設備介紹 12
2.5 揮發性有機物之影響 22
2.6 高斯擴散應用 27

第三章 實驗方法 29
3.1研究架構與流程 29
3.2排放管道廢氣採樣地點及時程規劃 30
3.3採樣分析方法與程序 33
3.3.1 管道中揮發性有機物 33
3.3.2 管道中無機酸 35
3.3.3 管道中氨氣 38
3.4 光化反應性指標介紹 40
3.4.1 最大增量反應性 (MIR) 40
3.4.2 臭氧生成潛勢 (Ozone Formation potential, OFP) 41
3.5模式介紹 42
3.5.1大氣污染物高斯擴散(Gaussian diffusion)增量模擬 43
3.5.2 擴散係數 44
3.5.3 受體資料 48

第四章、結果與討論 49
4.1 採樣時間之氣象資料 49
4.2 管道中廢氣污染物 51
4.2.1管道中揮發性有機物之特性 51
4.2.2臭氧生成潛勢 (OFP) 61
4.2.3管道中無機酸 65
4.2.4 管道排氣中氨氣 68
4.3 排放係數及排放量推估 68
4.3.1排放係數 69
4.3.2 排放量推估 70
4.4 大氣擴散模擬結果 75
4.5模式模擬與周界實測值比較污染趨勢 82

第五章 結論與建議 84
5.1 結論 84
5.2 建議 85

參考文獻 86
附錄A 94
附錄B 124

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