半導體封裝廠製造過程中常會產生許多污染物質，尤其是揮發性有機物(Volatile Organic Compounds, VOCs），由於揮發性有機物具有滲透、脂溶及揮發等特性，易經由皮膚接觸及呼吸系統而對人體造成危害，刺激人類的眼睛、皮膚，引起呼吸系統的疾病。對於環境方面，大部分之揮發性有機物其臭味閾值較低，少量之揮發性有機物就會產生臭味，造成環境異味及人員不適之問題。本研究以目前有機廢氣處理主要技術中的冷凝法加入洗滌技術，處理揮發性有機物及有機異味，冷凝水洗裝置由不鏽鋼本體及保溫層包覆，其內部主有兩道不銹鋼噴霧裝置及兩道不鏽鋼冰水盤管組成，利用氣體冷凝及吸收原理達到分離氣相中的某些成分於液體中。
冷凝水洗裝置處理揮發性有機物及有機異味結果顯示：(1)對於低沸點有機物而言，以本篇六大有機污染物(Isopropyl Alcohol 異丙醇、Acetone 丙酮、Trimethylamine 三甲胺、Dimethyl sulfide 二甲基硫、Toluene 甲苯、2-methoxy-Propane 乙醚)為例，分析結果顯示Isopropyl Alcohol 異丙醇、Trimethylamine 三甲胺去除效率可達90%以上，Dimethyl sulfide 二甲基硫、Toluene 甲苯、2-methoxy-Propane 乙醚 Acetone丙酮的去除效率不理想，雖然本篇低沸點六大有機物的去除率有90%，但各物種顯示不同去除率，顯示低沸點有機物被冷凝水洗效果還有待實驗觀察。(2)對於有機異味來源鎖定高沸點有機物二甲基亞碸(DMSO)及乙醇胺(MEA)，二甲基亞碸(DMSO)的去除率可達98%以上，而乙醇胺(MEA)濃度不高無法檢出，無法證明其去除率，但根據高沸點易被冷凝吸收原理，其去除率應與二甲基亞碸(DMSO)相當，研判冷凝水洗設備對於高沸點有機物之去除率將會很高。

During the manufacturing process of semiconductor assembly many pollutants come with products, especially volatile organic compounds(VOCs). As VOCs with features such as penetrable, lipophilic and volatile, they can cause adverse health effects by contacting with skin and respiratory system. Key symptoms associated with exposure to VOCs include eye irritation, allergic skin reaction and nose and throat discomfort. For the environment, most of the VOCs have lower odor threshold. Only a small amount of VOCs can produce odor which leads to environmental problems and personnel discomfort. In this study, we used condensation method with washing technology to remove VOCs and organic odors. The condensation-washing device was made of stainless steel body and coated with an insulation layer. The internal device was composed of two stainless steel spray and two stainless steel cooling coils. The use of gas condensate and vapor absorption achieves the separation of some of the ingredients in the liquid.
The results showed that (1) For the organic compounds with low-boiling point such as Isopropyl Alcohol, Acetone, Trimethylamine, Dimethyl sulfide, Toluene and 2-methoxy-Propane, the removal efficiency of isopropyl alcohol and trimethylamine was more than 90%, however the removal efficiency of dimethyl sulfide, toluene, 2-methoxy-Propane and acetone was unsatisfying. Although the total removal rate was up to 90%, the rates showed between different compounds were uneven; therefore removal of low-boiling point organic compounds using this method remains further studies. (2) For the organic compounds with high-boiling point such as dimethyl sulfoxide (DMSO) and ethanolamine (MEA), the removal efficiency of dimethyl sulfoxide (DMSO) was more than 98%, while the concentration of ethanolamine (MEA) was too low to be detected, which was unable to obtain its removal efficiency. However, according to the principle of high-boiling compounds with higher absorption, its removal efficiency should be similar with dimethyl sulfoxide (DMSO), therefore, we concluded that condensation-washing equipment can proved high removal efficiency for high-boiling organics.

論文審定書+i
誌謝+ii
中文摘要+iii
英文摘要+iv
第一章、前言+1
1.1 研究緣起+1
1.2 研究目的+2
第二章、文獻探討+5
2.1 半導體行業概況及製程介紹+5
2.2 廢氣處理技術+8
2.3 冷凝水洗技術+11
2.3.1 水洗原理+11
2.3.2 冷凝原理+14
第三章、研究方法+17
3.1 研究架構流程+17
3.2 廢氣採樣+18
3.3 廢氣特性分析+22
3.4 可行性分析+24
3.4.1 試驗數據分析+24
3.4.2 設備規劃設計+26
3.5 空氣污染防制設備設置+31
第四章、結果與討論+36
4.1 試俥調整結果+36
4.2 高沸點有機物處理效果+40
4.3 冷凝水洗設備處理效果+41
4.4 經濟評估+43
第五章、結論與建議+47
5.1 結論+47
5.2 建議+47
參考文獻+49
附錄+51

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