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博碩士論文 etd-0630103-122411 詳細資訊
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論文名稱
Title
應用電子束微影術於電制吸收光調變器之研製
Application of Electron-Beam Lithography to the Fabrication of Electroabsorption Modulators
系所名稱
Department
畢業學年期
Year, semester
語文別
Language
學位類別
Degree
頁數
Number of pages
52
研究生
Author
指導教授
Advisor
召集委員
Convenor
口試委員
Advisory Committee
口試日期
Date of Exam
2003-06-18
繳交日期
Date of Submission
2003-06-30
關鍵字
Keywords
電子束微影術、電制吸收式調變器
Electron-Beam Lith, Electroabsorption modulators
統計
Statistics
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中文摘要
摘要
由於近幾年半導體的蓬勃發展,傳統的光學微影術已無法滿足最小線寬的需求。因此,電子束微影術是突破此瀕頸的關鍵技術之一。在我們的元件設計中,第一道製程使用了電子束微影術,以達到小於一微米寬度的波導。藉此用以降低調變器的電容值,並調整傳輸線的長度,降低電壓反射係數,以達到高速操作的需求。
由於我們自行架設電子束微影術的系統,所以我們設計了三種圖案來測試最好的線寬,以求在第一道製程上可達到最好的解析度。我們同時使用3%或2%PMMA溶解於苯甲醚中,來測試小於100nm的線寬,而我們也成功用自行架設的機台定義出100nm線寬的圖案。
在元件的製程上,我們使用乾式蝕刻,蝕刻出脊形波導的形狀。且以高分子材料將波導兩邊平坦化,再將傳輸線的上電極和信號的墊板鍍在高分子材料之上。並用特殊的斜坡腐蝕法,把接地平板引到與信號墊板相同的高度,以利於使用coplanar microwave probe直接在晶片上進行高頻的測試。
Abstract
none
目次 Table of Contents
目錄

第一章 緒論…………………………………………………………….1
1-1. 前言………………………………………………………..1
1-2. 應用電子束微影術於0.8μm 脊狀波導的製做………..1
1-3. 電制吸收光調變器的特性優點…………………………..1
1-4. 論文架構…………………………………………………..2

第二章 儀器架構及原理………………………………………………..3
2-1電子束微影術的原理…………………………………….3
2-1-1.歷史背景 …………...…………………………...3
2-1-2.基本原理…………..…………………...………..…3
2-1-3.儀器架構…………………………………………4
2-1-4.Proximity Effect…….………………………5
2-2電子束微影術的實驗結果……………………….7
2-2-1.使用TOPCON SM350所實驗的結果 ……….…...7
2-2-2.使用JEOL JSM840A所實驗的結果……………..…12

第三章 電致吸收光調變器的原理與設計……………………………16
3-1. 電制吸收光調便器的基本原理….……………………16
3-1-1背景……..………..…………………………….16
3-1-2載子躍遷…….…..………………………….16
3-1-3量子侷限史塔克效應(QCSE)…………
3-2 微帶線(Microstrip Line)………………………18
3-3. 電路設計與模擬結果…………………………………23
第四章 元件製程………………………………………………………34
4-1. 製程示意圖……………...……………………………….34
4-2. 光調制器之製程步驟與實驗結果………...…………….39

第五章 結論………………………………………………………51

參考文獻………………….…………………………………………52
參考文獻 References
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