本論文的研究目的為研製製程簡易且容易積體化的環型共振腔半導體雷射及光濾波器。材料方面，我們使用1.55

This paper presents design and fabrication of ring cavity semiconductor lasers and optical filters with simple fabrication process. A 1.55

第一章 簡介 1
1-1 前言 1
1-2 應用具特殊分光比例且對稱式之2X2 MMI 於環型共振腔 2
1-3 應用環型共振腔製作半導體雷射及光濾波器之特點及其應用 3
1-4 論文架構 3

第二章 多模干涉耦合器(Multi-Mode Interference) 4
2-1 MMI之原理 4
2-2 MMI之理論計算結果 8
2-3 3dB MMI之設計與模擬結果 10
2-4 K=0.15 MMI之設計與模擬結果 13
2-5 K=0之驟變寬度波導MMI之設計與模擬結果 16
第三章 S型波導 18
3-1 S-Bend之簡介 18
3-2 S-Bend之降低損耗設計與模擬結果 21
第四章 環型共振腔(Ring Resonator) 24
4-1 環型共振腔之簡介 24
4-2 環型共振腔之分析方法 27
4-2-1 方向性耦合器 27
4-2-2 2X2MMI耦合器 28
4-2-3 環型波導部份 29
4-2-4 單環環型共振腔之傳輸方程式 30
4-2-5　 雙環環型共振腔之傳輸方程式 31
4-3 單環環型共振腔之計算結果 32
4-4 應用環型共振腔於光濾波器之計算結果 35
4-5 應用環型共振腔於半導體雷射之計算結果 39
第五章 光罩之設計內容 42
第六章 元件製程步驟及製程結果 48
6-1 磊晶片之資料 44
6-2 製程流程圖 47
6-3 製程示意圖 48
6-4 製程步驟及結果 52
第七章 結論 66
參考資料 67


附錄：
附錄A 電子束蒸鍍ITO於光通訊波長之研究 69
A-1 ITO之簡介 69
A-2 研究動機 71
A-3 實驗模擬結果 71
A-4 實驗方法 72
A-5 結果與討論 74
A-6 結論 81
參考資料 82

[1] Optotech April 2001.
[2] Optotech June 2001.
[3] 光訊　第85期。
[4] Jong-Wook Seo, Catherine Caneau, Rajaram Bhat, “Application of Indium-Tin-Oxide with Improve Transmittance at 1.3