本研究以2" PP皇冠型填充濾材之三生物洗滌塔(每塔填料斷面積4 m×4m，堆填高4.5 m，填充體積72 m3，總氣液接觸表面積7,200 m2)，處理正常流量為1,800 m3/min之晶圓封裝製程排氣。生物系統馴養一個月後，處理效率及體積去除能力(K)逐漸穩定保持在定值範圍附近，三塔處理能力存在差異性。運轉100天之結果顯示，生物滴濾塔進氣非甲烷碳氫化合物(NMHC)濃度為35.5±5.8 ppm (as methane)，三塔平均VOC去除率分別為56、59及65%，相當於平均NMHC體積去除能力為6.0、8.0及10.3 g/m3.hr。

This study used three bio-scrubbers each packed with 2” crown PP packings (cross-sectional area 4 m×4m, packing height 4.5 m, packing volume 72 m3, total gas-liquid contact surface area 7,200 m2) to treat NMHC (non-methane hydrocarbons) in process exhaust gas with a total flow rate of 1800 m3/min vented from a wafer packing plant. After an acclimation period of one month, there existed performance variances among the three reactors. Operation data of 180 days show that with an average concentration of 35.5±5.8 ppm (expressed as methane equivalent), the bio-scrubbers had average NMHC removal efficacies of 56, 59 and 65%, respectively, which correspond to average volumetric removal capacities of 6.0, 8.0 and 10.3 g/m3.hr.

論文審定書 i
摘要 ii
Abstract iii
目錄 iv
圖目錄 v
表目錄 vii
第一章 前言 1
1.1 揮發性有機物 (VOC) 介紹 1
1,2 晶圓封裝製程有機排氣及處理方法介紹 3
1.3 研究目的與架構 4
第二章 文獻探討 6
2.1 揮發性有機物處理方法介紹 6
2.2 生物處理相關文獻 15
第三章 研究方法與材料 17
3.1 研究方法 17
3.2 研究材料與規格 19
第四章 結果與討論 24
4.1 生物馴養 24
4.2 生物系統操作狀況 32
4.3 化學洗滌 38
4.4 活性碳吸脫附系統 40
第五章 結論與建議 41
5.1 結論 41
5.2 建議 41
參考文獻 42

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