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博碩士論文 etd-0714110-041429 詳細資訊
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論文名稱
Title
銀/錫界面之初期反應研究
The early stage reaction on the Ag/Sn interfaces
系所名稱
Department
畢業學年期
Year, semester
語文別
Language
學位類別
Degree
頁數
Number of pages
73
研究生
Author
指導教授
Advisor
召集委員
Convenor
口試委員
Advisory Committee
口試日期
Date of Exam
2010-06-14
繳交日期
Date of Submission
2010-07-14
關鍵字
Keywords
浸鍍、銀/錫雙層薄膜、界面、初期反應、介金屬化合物、晶向關係、蒸鍍
intermetallic compound, interface, FE-SEM, TEM, Ag3Sn, Ag4Sn, early stage reaction, XRD
統計
Statistics
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中文摘要
本實驗著重在研究銀/錫界面的初期反應。實驗的第一個部份是利用穿透式電子顯微鏡(TEM)分析蒸鍍法所製作出的銀/錫雙層薄膜,界定產生的介金屬化合物種類、晶粒成長形態及和銀的晶向關係。
第二個部份為利用浸鍍方式得到銀/錫界面的初期反應,並使用SEM、XRD分析介金屬化合物的種類及表面形貌。
在蒸鍍實驗中,鍍錫溫度從室溫到260℃得到的介金屬化合物都是Ag4Sn。在浸鍍實驗中,用XRD分析在銀/錫界面產生的介金屬化合物得到的結果也是Ag4Sn,這兩項證據顯示銀/錫的初期反應在界面處生成的應該是Ag4Sn。
由銀/錫雙層薄膜的繞射結果得知Ag4Sn和Ag的(100)面無晶向關係。但和Ag的(111)面具特定晶向關係:Z =﹝0001﹞ζ =﹝111﹞Ag,(11-20)ζ // (-220)Ag,(1-100)ζ// (22-4) Ag。和Ag的(110)面具特定晶向關係:Z =﹝-2203﹞ζ=﹝110﹞Ag,(11-20)ζ // (-220)Ag,(2-1-12)ζ//(-113)Ag。
Abstract
none
目次 Table of Contents
目錄
1、前言 1
2、文獻回顧 3
2.1. Ag3Sn的生成 3
2.2. Ag3Sn的生長動力學 4
2.3. Ag3Sn的晶向關係 5
3、實驗方法 6
3.1. 蒸鍍 6
3.2. 浸鍍 8
3.3. 分析儀器 8
4. 實驗結果 9
4.1. 蒸鍍銀/錫於(001)平面 9
4.2. 蒸鍍銀/錫於(111)平面 10
4.3. 蒸鍍銀/錫於(110)平面 12
4.4. 浸鍍 13
5. 討論 14
5.1. 銀的磊晶薄膜 14
5.2. 銀錫介金屬化合物 14
5.3 晶向關係 15
6. 結論 16
7. 參考文獻 17
參考文獻 References
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