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博碩士論文 etd-0721105-175517 詳細資訊
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論文名稱
Title
以離子束法成長鈦奈米薄膜之研究
The Analysis of Ti Nano-Films Prepared by Ion Beam Deposition
系所名稱
Department
畢業學年期
Year, semester
語文別
Language
學位類別
Degree
頁數
Number of pages
79
研究生
Author
指導教授
Advisor
召集委員
Convenor
口試委員
Advisory Committee
口試日期
Date of Exam
2005-06-30
繳交日期
Date of Submission
2005-07-21
關鍵字
Keywords
晶向關係、鈦奈米薄膜、離子束法
preferred orientation, Ti nano-film, ion beam deposition
統計
Statistics
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中文摘要
本實驗利用鈦為靶材,NaCl(001)單晶為基板進行離子束濺鍍法來濺鍍鈦薄膜,並將濺鍍出來的試片以石英玻璃管封管後,進行不同退火溫度與退火時間的真空退火處理,利用電子顯微鏡分析。
經由電子繞射圖的鑑定,發現薄膜的成分多為alpha-Ti,並有少數的TiO。因為基板溫度、退火處理與退火溫度等製程條件的不同,使得alpha-Ti薄膜的晶粒尺寸與方向性有所差異。
Abstract
Ti nano-films are deposited on a NaCl(001) single crystal substrate by ion beam sputtering from a Ti target, and then annealed. Ti crystallites on a NaCl(001) substrate with increase in the substrate temperature and annealing have the preferred orientation (1-101) and (0001).
目次 Table of Contents
1. 簡介………………………………………………………………….1
1-1 鈦-氧系統……………………………………………………….1
1-2 離子束濺鍍法…………………………………………………..1
1-3 薄膜沉積機制………………………………………………….3
2. 實驗步驟…………………………………………………………….7
2-1 實驗儀器與材料………………………………………………..7
2-2 實驗步驟………………………………………………………..7
2-2.1 試片製作步驟……………………………………………7
2-2.2 儀器分析…………………………………………………9
3. 實驗結果………...…………………………………………………10
3-1 濺鍍時基板不加溫(A組結果)……………………………….10
3-1.1 A組結果薄膜組成結構…………………………………10
3-1.2 A組結果薄膜晶粒尺寸與分佈…………………………10
3-1.3 A組結果薄膜晶向關係…………………………………10
3-2 濺鍍時基板溫度為250℃(B組結果)……………………….12
3-2.1 B組結果薄膜組成結構…………………………………12
3-2.2 B組結果薄膜晶粒尺寸與分佈…………………………12
3-2.3 B組結果薄膜晶向關係…………………………………12
3-3 濺鍍時基板溫度為400℃(C組結果)………………………13
3-3.1 C組結果薄膜組成結構…………………………………14
3-3.2 C組結果薄膜晶粒尺寸與分佈…………………………14
3-3.3 C組結果薄膜晶向關係…………………………………14
3-4 暗視野圖與高解析成像………………………………………15
4. 討論…………………...……………………………………………16
4-1 薄膜組成結構……………………………………………….16
4-2 製程條件的影響…………………………………………….16
4-2.1 濺鍍時的基板溫度……………………………………..16
4-2.2 退火處理………………………………………………..18
4-3 晶粒尺寸與電子繞射圖………………………………………19
4-4 晶粒聚集………………………………………………………21
5. 結論……...…………………………………………………………23
6. 參考文獻…………………………………………………………...24
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