利用掃描穿隧顯微鏡觀測鎳鋁合金(110)表面在低曝氧量時所生成的氧化物。在曝氧 3L後發現在4V左右的偏壓可以觀測到奈米顆粒狀的氧化物，當降低偏壓至2.5~3.5V時，可以同時看到金屬的條狀結構。當偏壓降至2V，針尖上的電子不能直接穿隧到氧化物，此時氧化物的存在相當於形成一道在針尖和金屬間的位能障礙，降低了電子從針尖穿隧至樣品金屬表面的機率。同時我們也比較曝氧量為 3L 和 120L 時對氧化物形貌的影響，可以藉此了解鎳鋁合金(110)表面氧化物生長初期的行為。

In this work, STM measurements are employed to study the growth behaviors of alumina formed on the NiAl(110) surface under low coverage of oxygen dose (3 Langmuir and 120 Langmuir). Utilizing the capability of STM, the surface structures and the corresponding electronic properties of these alumina can be probed, respectively. The alumina nanoclusters are observed at sample bias 4V after the NiAl(110) surface is oxidized. However, when the bias is lower to 2V, the electronic states of the oxide are not accessible, so that the electrons can only tunnel between the tip and the metal support. In this case, the oxide just modulates the potential barrier as a function of position. Compared with the topographic image of the alumina formed by 3L and 120L oxygen dose, the growing behavior of the alumina/NiAl(110) at the initial stage could be measured.

致謝…………………………………………………………….…………I
摘要 ……………………………………………………………….…….II
Abstract ………………………………………………………………. III
目錄……………………………………………………………………. IV
圖片索引 .........…………………………………………………….......VI
第一章：
緒論……………………………………………………………………1
第二章：掃描式穿隧電子顯微鏡基本原理：
第一節：STM簡介……………………………………………………3
第二節：量子穿隧效應……………………………….………………3
第三節：區域能態密度Local density of state (LDOS)..……………...5
第四節：掃描模式.................................................................................7
第三章：實驗儀器與步驟：
第一節：儀器介紹...............................................................................13
第二節：超高真空環境的製備及步驟................................................21
第三節：樣品製備...............................................................................24
第四章：實驗結果與討論：
第一節：氧化物的生成與影響因子 ………………………..……….26
第二節：鎳鋁合金(110)表面在不同偏壓下的變化…………………26
第三節：曝氧後的鎳鋁合金(110)表面在不同偏壓下的變化………27
第四節：不同曝氧量下的氧化物比較 ……….…………………… 29
第五節：結論 ………………………………………………………...31
參考文獻………………………………………………...…………….. 32

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