Ag-In-Sb-Te系列之可擦拭相變化型光碟，其具有的細小晶粒（~150 Å），對提高儲存資料的容量及增加擦拭率均有相當大的幫助，然而其結晶時相偏析的現象，會降低可循環擦拭的次數，進而減少碟片使用的壽命，一直是此系列材料的一個缺憾。所以，本實驗我們利用已知的相圖，以元素Se取代Te，由相圖上，AgSbSe2之結晶相可在室溫至高溫存在，而AgSbTe2之結晶相僅能在高溫時存在，其應可減少結晶時相偏析的機會。
由Ag-In-Sb-Se四種元素組成之記錄層薄膜，經由不同的組成調變後，我們發現薄膜中元素Ag、Sb含量的提高會促進薄膜結晶化的傾向，而元素In、Se含量的提高會促進薄膜非晶化的趨勢。若薄膜組成Sb含量大於Se含量且約大過薄膜之組成比例50%時，則薄膜在初鍍膜狀態下有Sb結晶相之出現。當薄膜組成Ag16.17In6.17Sb23.08Se54.58時，則初鍍膜為非晶態；當Ag濃度提高至薄膜組成為Ag17.98In4.94Sb23.39Se53.69時，則初鍍膜會有AgSbSe2之單一結晶相出現，此薄膜經200℃退火後，會有AgSbSe2、Sb2Se3和AgInSe2三種結晶相出現，其結果對材料相偏析影響，似乎變得更複雜，但AgSbSe2晶粒大小約293 Å則符合“完全擦拭”之細晶粒要求。

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目 錄
目錄.......................................... a
附表目錄.......................................d
附圖目錄.......................................e
第一章 簡介....................................1
1.1導論....................................1
1.2可擦拭相變型光碟原理....................2
1.3典型的CD-RW碟片構造.....................3
1.4相變化材料的種類........................4
1.5記錄層材料的要求........................5
1.6 Ag-In-Sb-Te相變化光碟記錄機制..........6
1.7添加元素的特性..........................7
1.8實驗目的及預期結果......................8
第二章 實驗步驟與方法.........................10
2.1 AgInSbSe記錄層薄膜的鍍製..............10
2.1.1基板處理.........................10
2.1.2薄膜成長---分子束磊晶系統........10
2.1.3退火熱處理.......................11
2.2量測分析儀器...........................11
2.2.1 厚度量測........................11
2.2.2 TGA熱重分析.....................11
2.2.3 DSC熱分析.......................12
2.2.4 X-ray繞射.......................12
2.2.5 X射線光電子能譜儀...............12
2.2.6 掃描式電子顯微鏡................12
2.2.7 電子微探針分析儀................12
2.2.8 反射光譜儀......................13
2.3 儀器之工作原理........................13
2.3.1 DSC熱分析.......................13
2.3.2 X射線光電子能譜儀（XPS）.......15
第三章 實驗結果與討論.........................18
3.1組成變化對結晶相的影響.................18
3.1.1薄膜組成之調變...................18
3.1.2組成變化對初鍍膜結晶相的影響.....18
3.1.3 TGA分析......... ...............19
3.1.4 不同組成在退火後之結晶相變化 ...19
3.2組成變化對Tg的關係.....................20
3.3 ESCA分析..............................21
3.3.1ln原子之鍵結能量.................22
3.3.2 Sb原子之鍵結能量................22
3.3.3 Ag原子之鍵結能量................23
3.3.4 Se原子之鍵結能量................24
3.4 其他量測..............................24
3.4.1結晶晶粒之計算...................24
3.4.2相變化溫度量測...................25
3.4.3光反射率量測.....................25
第四章 結論與未來展望.........................26
參考文獻......................................27

參考文獻
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