國立中山大學,National Sun Yat-sen University,學位論文,thesis/dissertation,NiO奈米薄膜於NaCl（100）上之布朗運動及相互之間的聚簇,The Brownian motion of the NiO nano film on NaCl（100）and the coalescence of the overlapped nano films

論文名稱 Title	NiO奈米薄膜於NaCl（100）上之布朗運動及相互之間的聚簇 The Brownian motion of the NiO nano film on NaCl（100）and the coalescence of the overlapped nano films
系所名稱 Department	材料科學研究所 Institute of Materials Science and Engineering
畢業學年期 Year, semester	95 學年度第 2 學期 The spring semester of Academic Year 95	語文別 Language	中文 Chinese
學位類別 Degree	碩士 Master	頁數 Number of pages	53
研究生 Author	鄭婉婷 Wan-ting Zheng
指導教授 Advisor	沈博彥教授 Shen, Pouyan Professor
召集委員 Convenor	甘德新教授 Gan, Der shin Professor
口試委員 Advisory Committee	謝克昌教授 Hsieh, Ker-Chang Professor
口試日期 Date of Exam	2007-06-25	繳交日期 Date of Submission	2007-08-20
關鍵字 Keywords	NiO奈米薄膜、布朗運動、聚簇 NiO nano film, Brownian motion, coalescence
統計 Statistics	本論文已被瀏覽 5699 次，被下載 14 次 The thesis/dissertation has been browsed 5699 times, has been downloaded 14 times.

中文摘要
本實驗使用 Ni 為靶材， NaCl(001) 單晶為基材，通氧氣進行反應式離子濺鍍而直接生成 NiO 奈米薄膜，再進行不同溫度的熱處理，並利用電子顯微鏡分析薄膜微觀結構。 NiO 晶粒受到 NaCl(001) 單晶基材的影響，進行小顆粒之布朗運動而轉動聚合，使大部分之晶粒的擇優取向為 [001]NiO//[001]NaCl，[100]NiO//[100]NaCl (Group A) ，少部分則為[011]NiO//[001]NaCl， [100]NiO//[110]NaCl (Group B) 。隨著基材溫度提升，NiO晶粒的擇優取向更趨明顯。此法生長之 NiO 奈米薄膜以 Group A 為主 (Dominant type) ，此晶粒的擇優取向與 c、t-ZrO2 奈米薄膜正好恰恰相反，主導因素是庫侖作用能量與 NiO 奈米晶粒之立方體形狀造成的平行聚簇堆疊。 NiO晶粒在薄膜熱處理當中，經過旋轉結合成如單晶的薄膜，同時薄膜在 <100>NiO 則上產生鏈狀裂痕，隨熱處理時間增加而改變形狀。 NaCl(001) 之 NiO(001) 奈米磊晶層與 NiO(001) 奈米晶覆層薄膜，以任意角度重疊，再經 200℃~400℃ 熱處理，則形成 (001) twist boundary ，且於此漸趨統一的過程中各自出現 {100} 節理及互相吻合的弧形裂痕，是固定之下層拉扯上層使奈米或微米以上範圍轉動的結果。此外於 (001) 接合面可能出現 Group A 與 Group A 之間的 2-D Coincidence site lattice nano domain。其中 36° 錯角者，於 200℃ 以下為介穩界面。
Abstract
none

目次 Table of Contents
目錄圖目錄 II 1. 摘要 1 2. 前言 3 3. 實驗方法 6 4. 實驗結果與討論 PART A 7 NiO 奈米薄膜長於 NaCl(001) 單晶基材之擇優取向及晶向關係— 4.1 擇優取向 7 4.2 晶向關係與 Coincidence site lattice (CSL) 8 4.3 支配優勢晶向的庫侖與晶格參差(misfit)因素 9 4.4 單位接觸面積離子密度問題 10 4.5 NiO 之特殊晶界 10 5. 實驗結果與討論 PART B 12 NaCl(001) 之 NiO MNM 磊晶層與 NiO MNM 覆層的聚簇行為— 5.1 熱處理溫度的影響 12 5.2 掌形對稱鍊狀裂緣 13 5.3 熱處理時間的影響 14 5.4 介穩態角度 15 6. 參考資料 17

參考文獻 References
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